半导体在通信、光伏发电、照明等领域都有广泛的应用,太阳能电池板是其中具有比较大规模的应用。对于太阳能电池板生产工艺中的的质量优化和效率提升受到了广泛的关注。短波红外(SWIR)相机可以识别出人眼和可见光相机看不到的内容,在检测出太阳能电池板中的缺陷,降低成品成本中起到了重要作用。
背景:
太阳能电池板是将太阳能转换为电能的核心组件,其大多是以单晶硅、多晶硅太阳能电池为主流,广泛应用与家庭、商业、工业领域。太阳能电池板质量、效率的提升是太阳能电池研究的重点。其中杂质或缺陷等会影响太阳电池的效率,快速精准的检测出有缺陷的太阳电池对提升太阳能电池板整体效率很重要。在太阳能电池板的制作流程中,硅晶片的选择较为基础。而硅片中的缺陷大小在微米μm及纳米nm量级,凭借肉眼和可见光相机无法区分,SWIR系列相机在这一应用中起着重要作用。
短波红外相机主要通过利用物体反射的红外光进行成像,红外光可以透过硅片,使用SWIR可以检测到硅片的内部缺陷。

在生产线上安装SWIR相机的优势:
硅片/电池内部缺陷检测:
硅晶片吸收光子能量后,会以电磁波的形式辐射出部分能量。其波长大约在1150nm左右,SWIR相机的工作波段大多为400nm-1700nm。因此使用红外相机拍摄辐射出能量的硅片,可以拍摄到发出辉光的硅片。硅晶片上的微小的物理缺陷,如裂纹、杂质、空洞等,在成像上会呈现为黑色的线条或暗区。这是SWIR相机最核心的应用。由于硅片几乎不吸收1.1μm以上的红外光,因此短波相机可以轻易穿透过硅片。对于多层结构,还可以识别不同材料下的深度信息。

焊点、栅线检测:
SWIR相机可以识别出热斑区域,即可能由于不完全的焊接或材料缺陷引起的局部过热点,这些可能会影响成品失效等隐患。

晶圆切割:
晶圆切割会受到硅片上孔洞杂质等的影响,切割不合适可能会导致太阳能电池板质量差等。使用红外相机辅助,可以对检测出硅片中的缺陷,避免上述状况的发生,减少成本,提高质量。
无损检测:
使用红外相机对太阳能电池板缺陷进行检测,无需接触样品,不会对电池板内部的结构、原子种类等产生破坏,可完成及时检测,对材料进行无损检测。
应用价值:
短波红外相机可以检测出电池在制造过程中的表征,能够快速且精准的找到太阳能电池的缺陷是很重要的。这些缺陷初期对太阳能电池的功能无碍,但它对太阳能电池的可靠性影响会随着时间逐步显现。提前检测到电池缺陷,可以及时纠错,提升太阳能电池板的质量,节省成本。


