SMS系列短波模块化显微系统
| 特点 |
| 短波红外成像范围：900–1700 nm |
| 专用 M Plan Apo NIR 系列物镜（5X 至 20X HR） |
| 短波红外相机选项（0.33 MP 至 5.0 MP），内置 TEC 制冷 |
| 标准 C 接口，便于集成短波红外相机 |
| 同轴柯勒照明，支持 1200 / 1300 / 1400 / 1550 nm LED |
| 精密 CNC 结构，防振设计 |
| 模块化照明、成像与机械架构 |
在半导体检测中，它能揭示硅晶圆和集成电路中传统系统难以检测的次表面缺陷、微裂纹、隐藏的芯片断裂和焊接缺陷。
在材料科学研究中，它识别陶瓷、复合材料和高性能材料中的隐形裂纹和结构缺陷。
在工业无损检测中，它在不拆卸的情况下进行非侵入式地下部件分析，准确检测硅基材料和陶瓷部件的内部缺陷。
| 型号 | SWIR051AU | SWIR0503AU | SWIR035AU | SWIR033AU |
| 传感器型号 | Sony IMX990 | Sony IMX991 | Sony IMX992 | Sony IMX993 |
| 靶面尺寸 | 1/2″ | 1/1.4″ | 1/1.8″ | |
| 像元尺寸 | 5μm×5μm | 3.45μm×3.45μm | ||
| 分辨率 | 1.3MP | 0.33MP | 5.0MP | 3.0MP |
| 帧率 | 392fps | 753fps | 135.7fps | 176fps |
| 数据接口 | USB3.0 | |||
| 曝光时间 | 15us-60s | |||
| 尺寸 | 80mm×80mm×45.5mm | |||
| 制冷 | Built-in TEC | |||
| SMS-T180VA | SMS-T090VA | SMS-T100VA | |
| 物镜支持 | 支持常规无限远 SWIR 显微物镜 | 支持高数值孔径无限远 SWIR 显微物镜 | |
| 管镜焦距 | 180mm | 90mm | 100mm |
| 成像光路像面尺寸 | 24mm(使用 180mm 焦距管镜) | 33mm(使用 200mm 焦距管镜) | |
| 成像光路光谱范围 | 900-1700nm | ||
| 相机接口 | C 接口 | ||
| 照明方式 | 同轴落射式科勒照明 | ||
| 照明光源 | 1550/1400/1300/1200nm LED 光源 | ||
| 品名 | 放大 | 数值孔径 NA | 工作距离 WD | 焦距 | 分辨率 | 物镜焦深 | FN | 重量 |
| M Plan Apo NIR 5X | 5X | 0.14 | 37.5 mm | 40 mm | 2.0 μm | 14 μm | 24 mm | 220 g |
| M Plan Apo NIR 10X | 10X | 0.26 | 30.5 mm | 20 mm | 1.1 μm | 4.1 μm | 24 mm | 250 g |
| M Plan Apo NIR 20X | 20X | 0.4 | 20 mm | 10 mm | 0.7 μm | 1.7 μm | 24 mm | 300 g |
| 参数 | LED1200 | LED1310 | LED1450 | LED1550 |
| 型号 | LED1200 | LED1310 | LED1450 | LED1550 |
| 波长 | 1200(±10)nm | 1310(±15)nm | 1450(±20)nm | 1550(±20)nm |
| 直径 | 6mm | |||
| 输入电压 | 1.35V / 1A | 1.3V / 1A | 1.25V / 1A | 1.2V / 1A |
| 光功率 | 45mW/cm² | 110mW/cm² | 50mW/cm² | 60mW/cm² |
| 功率 | 1.35W | 1.3W | 1.25W | 1.2W |
| 工作距离 | 5-60mm | |||
| 半波宽 | 30nm（半波全宽） | |||
| 工作寿命 | 30000 小时，光衰小于 30% | |||
| 外壳材质 | 铝合金（表面处理：氧化黑） | |||
| 散热模式 | 被动散热（警告：环境温度超过 30℃时，需强制散热或降载运行） | |||
| 线缆长度 | 500 (±20) mm | |||
| 延长线 | 2m/3m/5m，长度可定制 | |||
| 插头 | SM3P，可根据需求定制 | |||
| 重量 | 50g | |||
| 建议搭配控制器 | HS-DCACCC-5-1A-2DF | |||
主要优势包括三个关键方面：
- 增强材料对比度——短波红外波长可以穿透或区分在可见光下被遮挡的特征，揭示材料内部或表面下方的更多细节。
- 成本效益——它允许直接使用现有显微镜光学设备，并配合价格合理的钨卤素或LED照明，无需昂贵的专用单红外物镜。
- 可扩展性——模块化设计支持针对特定波长、传感器类型或自动化需求的灵活定制，适应不同应用场景。
兼容的短波红外相机
SMS 系列短波红外模块化显微系统兼容多款内置 TEC 制冷的短波红外相机，分辨率覆盖 0.33 MP 至 5.0 MP。这些相机分别搭载 Sony IMX990/991/992/993 传感器，均采用统一的 USB 3.0 数据接口，曝光时间范围为 15 μs 至 60 s，可满足不同视场、速度及检测灵敏度的要求。
SWIR0503AU
400-1700nm InGaAs短波红外相机，33万像素，5 µm 像元，USB 3.0接口
SWIR051AU
400-1700nm InGaAs短波红外相机，130万像素，5 µm 像元，USB 3.0接口
SWIR033AU
400-1700nm InGaAs短波红外相机，300万像素，3.45 µm 像元，USB 3.0接口
SWIR035AU
400-1700nm InGaAs短波红外相机，500万像素，3.45 µm 像元，USB 3.0接口
SMS系列管镜
SMS 系列提供多种管镜配置，以匹配不同的短波红外显微镜物镜和像面要求。所有方案均采用同轴柯勒照明和标准 C 接口相机接口，支持 900–1700 nm 光谱范围，并可选配 LED 光源（1550/1400/1300/1200 nm）。
SMS-T180VA
短波红外显微镜管镜，焦距 180 mm，C 接口
SMS-T090VA
短波红外显微镜管镜，焦距 90 mm，C 接口
SMS-T100VA
短波红外显微镜管镜，焦距 100 mm，C 接口
物镜
显微镜物镜是显微镜光学系统的关键组成部分。它们靠近待检测的样品、标本或物体放置，用于形成放大的实像。AttosTek 提供 M Plan Apo NIR 系列物镜，放大倍率从 5X 到 20X。该系列物镜针对短波红外波段进行了优化，在工作距离、分辨率和焦深之间实现了良好的平衡，是半导体、材料及工业检测应用的理想选择。
M Plan Apo NIR 5X
5倍显微镜物镜，数值孔径 0.14，工作距离 37.5 mm
M Plan Apo NIR 10X
10倍显微镜物镜，数值孔径 0.26，工作距离 30.5 mm
M Plan Apo NIR 20X
20倍显微镜物镜，数值孔径 0.4，工作距离 20 mm
M Plan Apo NIR 50X
50倍显微镜物镜，数值孔径 0.42，工作距离17mm
点光源
LED1550
1550(±20)nm波长，6mm直径，60mW/cm²光功率
LED1450
1450(±20)nm波长，6mm直径，50mW/cm²光功率
LED1310
1310(±15)nm波长，6mm直径，110mW/cm²光功率
LED1200
1200(±10)nm波长，6mm直径，45mW/cm²功率
显微镜支架
显微镜支架
SMS 系列短波红外模块化显微镜支架